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1.臺階儀/膜厚儀(美國Ambios Technology Inc.)
XP-1/XP-2
XP-100/XP-200/XP-300

2.原子力顯微鏡 (美國Ambios Technology Inc.)
掃描隧道顯微鏡STM
小樣品原子力顯微鏡
大樣品原子力顯微鏡
半導體用工業原子力顯微鏡
磁場力顯微鏡MFM、電場力顯微鏡EFM、摩擦力顯微鏡LFM
3.光學輪廓儀(美國Ambios Technology Inc.)
Xi-100 Plus
4.光譜式橢偏儀(法國SOPRALAB 公司)
GES5 可見光波段全自動連續光譜式連續角度可變光譜式橢偏儀
GSS5 plus FTIR 紅外橢偏儀加付里葉紅外FTIR測量
GSS5 plus GXR GES5光譜式與X射線衍射及掠入射GXR聯用
半導體用全自動工業橢偏
FPD用全自動工業橢偏儀
5.白光共焦三維輪廓儀(法國STIL公司)
Micromeasure 測量三維輪廓、臺階高度、膜厚
6.原子力顯微鏡探針及配件
AFM/SPM探針
標樣
石墨
 
  
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